- ◆SMA薄膜アクチュエータの設計から試作評価までを一貫して行うノウハウ、実績を保有しております
- ◆ニーズに合わせたデバイスの設計、試作評価によりお客様の課題を解決する研究提案を致します
形状記憶合金(SMA)アクチュエータの特徴
駆動性能)大きな出力と駆動量を発揮できるアクチュエータ材料:107 [J/m3]⇒人筋肉の1000倍
安定性)100万回以上の繰り返し駆動でも特性劣化しない
加工自由度)一般的な金属材料同様、切削、圧延、更にスパッタリング等による薄膜加工も可能
感温駆動 スマートマテリアル)熱を感知し駆動する特性を持つ温度センサを兼ね備えたスマートマテリアル材料
静音、リニア駆動)加熱/冷却による相変態に基づく駆動は全くの無音でスムースなリニア駆動
KRIの保有技術/研究実績
SMA薄膜マイクロアクチュエータ実現に必要な技術要素
- ●SMA薄膜の成膜、形状記憶処理まで一連のノウハウ
- ●SMA薄膜のMEMS微細加工プロセス
- ●SMA薄膜アクチュエータの設計ノウハウ
試作例:SMA薄膜のMEMS微細加工に基づくマイクロアクチュエータ
- ・通電ジュール加熱と自然放熱冷却による2方向駆動
- ・薄膜の構成(厚さ、長さなど)や印加電圧により駆動制御可能
- ・MEMS加工により数十μmレベルの微細化も可能
SMA薄膜 2つの活用法
- ◆熱駆動大変位アクチュエータ)通電等により熱を与える事で駆動する大変位マイクロアクチュエータ
- ◆感温自律駆動アクチュエータ)外部環境温度の変化を感知して自律的に駆動するスマートマテリアル
本技術を活用した研究提案例
アクチュエータ応用 〜超小型力覚型触覚提示デバイス〜
- ・指先知覚器を任意に刺激し、例えば画面に映った商品のさわり心地を再現
- ・垂直に大きな変位と力を発生できるSMAマイクロアクチュエータアレイ
- ・1mm程度のピッチで複数の独立駆動マイクロアクチュエータを配置
〜微小ながん細胞を除去、捕集するマイクロ鉗子〜
- ・複数のSMA薄膜カンチレバーから成るマイクログリッパー
- ・電流ONで開いた手が閉じる事により微小物体を捕集・把持
- ・内視鏡の先端に設置し、微小ながん細胞を切除、捕集