従来技術
従来の振動子は両面に駆動用の電極を配置しており、実装が困難であり、利用上においても扱いにくいなどの課題があった。
QCMを液相中で使用する際の問題点
・両面の電極が液中に晒されてリークする。
・振動損失が増加し、Qが落ちて大気中の場合に比べて共振特性は大きく鈍化する。
実験により分解能は2桁落ちる事が確認された。
・振動損失が増加し、Qが落ちて大気中の場合に比べて共振特性は大きく鈍化する。
実験により分解能は2桁落ちる事が確認された。
※気相中での微量質量センサとしての利用は多いが、液相中での測定は余り知られていない
本技術
片面電極分離凸QCMの利用