配向レジスト材料の開発
技術背景
レジスト特性と呼ばれる感度・解像度・プロセスマージンは高分子物性である分子量および分子量分布、透過率などに大きく影響されます。
その高分子フィルム（レジスト）が、ある程度規則性(配向性)を有している場合と全くランダムに配列する場合とでレジスト特性に影響があると予想されます。
しかしこれまでに配向性とレジスト特性の関係についての研究は行われておりませんでした。
kri技術
kriは、加熱処理で基板に対して垂直に配向する高分子を用いてレジスト化することで、そのレジスト特性の改善を検討してきました。
その結果、感度や解像度が配向挙動と関係があることがわかりました。
また配向変化は、透過率などの光学特性も変化するという特徴があります。
研究展開例
- 半導体レジストの評価
- カラーフィルター用レジスト
- ebレジスト
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- 株式会社ＫＲＩ ナノ構造制御研究部
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