表面分析
■FE-EPMA
分析内容
表面、内部の形態観察
表面の元素組成・化学状態分析
表面の化合物分布分析
表面層の深さ方向分析
表面吸着物の分析
対象物
炭素繊維、複合材料
有機・高分子材料
ガラス、セラッミクス
触媒
金属材料
生物試料
分析例
カビ、バクテリアの形態観察
高分子材料の微量添加物成分分析
高分子材料の微細構造観察
触媒金属粒子の形態観察
プラスチック材料の断面観察
結晶粒界析出物の成分分布分析
主要装置
X線光電子分光装置（XPS、ESCA）
フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー（FE-EPMA）
高分解能走査型電子顕微鏡（FE-SEM、SEM-EDX）
集束イオンビーム装置（FIB）
原子間力顕微鏡（AFM）
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