ダイヤモンドの電気特性付加を目的としてフェムト秒レーザー処理された微小加工部を、fibと顕微ラマン分析を用いて構造評価を行いました。
機械研磨では不可能な面だしと微小部の摘出に成功し、顕微ラマンスペクトルからグラファイトピークが検出され、ダイヤモンドのレーザー加工によるグラファイト化が確認できました。

実施分析例（協力：京都大学　平尾研究室）

ナノ微小部分析評価法の一例を下記リンク先にあげています。

• ダイヤモンドのグラファイト化評価（fib＋顕微ラマン分析）
• ガラス微小部の形態・元素組成評価（fib＋afm＋fe-epma）
• 銅ナノワイヤーの確認（tem+fe-epma）