ガラスの内部をフェムト秒レーザーで加工された微小部を、加工量制御に優れダメージの少ないfibを用いて、正確かつ平滑に露出させることに成功しました。
これをafmで観察することで、微小な空隙であることが確認できました。
また、fe-epma分析により、空隙の周囲でのsi、ca、zn元素の不連続な移動が生じている特異現象を見出すことができました。

実施分析例（協力：京都大学　平尾研究室）

ナノ微小部分析評価法の一例を下記リンク先にあげています。

• ダイヤモンドのグラファイト化評価（fib＋顕微ラマン分析）
• ガラス微小部の形態・元素組成評価（fib＋afm＋fe-epma）
• 銅ナノワイヤーの確認（tem+fe-epma）