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マイクロポンプ方式水冷デバイス

小型水冷デバイスの設計

冷却デバイスの性能（理論計算式より）

HP部流体動特性の等価回路を用いた設計

ポンプ部能力評価結果

ポンプ部の発生圧力測定

変位量測定結果

ポンプ部の流量 vs 圧力測定結果

冷却機構の試作プロセス

駆動波形プログラムの作成

冷却デバイス評価

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