MEMS技術による超微細構造体の実現

ナノオーダ極薄自立膜構造体作製

  • ・KRIの幅広いMEMS加工技術知見、ノウハウを駆使してお客様が望む微細構造を実現します。
  • ・一般的な委託微細加工サービスと異なり、設計から加工、評価までを一貫して行えることを特徴とします。
  • ・これまでの委託加工事例として、KRIが保有するMEMS技術の集積ともいえる1例をご紹介します。

大面積SiN極薄自立膜構造:厚さ60nm ×150mm×120mm

  • ・Si微細加工技術応用として、60[nm]の極薄SiN膜を150×120[mm]の枠体に自立した構造体を実現しました。
  • (上記の寸法比は、例えば1mm厚の板を東京ドーム104個分の大きさの枠に破損せず貼り付けるに相当)
  • ・僅かな振動や負荷で破損してしまう脆弱な極薄膜の加工は、緻密な膜応力制御や低負荷プロセスが必須です。
  • ・KRIでは豊富な微細加工実績とノウハウから、最適な膜材料、成膜条件、及び加工プロセスを構築しました。
  • ・世界で数例の類似構造研究報告がありますが、委託加工として一貫したプロセスが可能なのは国内でKRIのみ。

極薄自立膜構造体実現のために開発した技術群

お客様の目標達成に向けて様々なアプローチにより課題を解決し、ベストソリューションをご提供します

この内容に関するお問い合わせ

フェロ&ピコシステム研究部