• ・KRIの幅広いMEMS加工技術知見、ノウハウを駆使してお客様が望む微細構造を実現します。
• ・一般的な委託微細加工サービスと異なり、設計から加工、評価までを一貫して行えることを特徴とします。
• ・これまでの委託加工事例として、KRIが保有するMEMS技術の集積ともいえる１例をご紹介します。

大面積SiN極薄自立膜構造：厚さ60nm ×150mm×120mm

• ・Si微細加工技術応用として、60[nm]の極薄SiN膜を150×120[mm]の枠体に自立した構造体を実現しました。
• （上記の寸法比は、例えば1mm厚の板を東京ドーム104個分の大きさの枠に破損せず貼り付けるに相当）
• ・僅かな振動や負荷で破損してしまう脆弱な極薄膜の加工は、緻密な膜応力制御や低負荷プロセスが必須です。
• ・KRIでは豊富な微細加工実績とノウハウから、最適な膜材料、成膜条件、及び加工プロセスを構築しました。
• ・世界で数例の類似構造研究報告がありますが、委託加工として一貫したプロセスが可能なのは国内でKRIのみ。

極薄自立膜構造体実現のために開発した技術群