技術背景

ガラスは透明性や耐熱性、線膨張係数が優れた素材です。
このため多くの光学部品に使用されています。
これまでガラスのパターニングにはフォトリソグラフィー工程とドライエッチング工程により作製していましたが、工程の短縮などが望まれています。

kri技術

シリカを非常に多く含有した感光性有機無機ハイブリッド材料を用いることでドライエッチング工程無しに、ガラスのパターニングが可能となりました。
また、ポリシラザンの使用と焼成処理によりパターン形状が強固となりました。

1. 高感度：メタクリル基などを粒子表面に修飾
2. 高透明：粒径が非常に小さい（粒径が10〜20nm）
3. 熱物性：配合技術により耐熱性や線膨張係数などを制御

研究展開例

• インプリント用モールド
• 光学素子（グレーティング、ホログラム、など）