最大４０×３０cmで最高空間分解能5μmによる３次元測定ができ、非破壊で材料や部品の内部構造が観察できる。

mm〜nmレベルまでの表面形態観察に適し、例えばナノ粒子や表面コート状態の観察に使用する。

0.1nmまでの形態・元素組成・構造分析に適し、例えば各種触媒や電極、ナノ金属の分析に使用する。

固体中の微小部の元素組成・元素分布(表面数μm以内、分析面0.1μm以上)に適し、例えば金属腐食状態の観察や微小異物の元素分析に使用する。

固体中の元素組成分析に適し、例えば触媒や異物の元素組成分析に使用する。

極表面(数nm)での元素組成と化学状態分析に適し、例えば各種触媒やカーボンの表面状態分析に使用する。

無機物の結晶構造による同定やポリマーの結晶性解析に適し、例えば触媒など各種無機材料の結晶構造分析や異物の同定に使用する。

アルゴンイオンによる精密断面出しを行う。ポリマー用として液体窒素冷気下によるクライオ機能も附属している。

Gaイオンによりミクロンサイズの微小部での面出しや切片の取出しが可能でSEM、EPMA、TEMなどの分析の前処理に利用する。

有機物の化合物構造分析に適し、例えばポリマーのユニット比やポリエチレンの分岐構造解析に使用する。

有機物の構造分析に適し(50μmまでの空間分解能でのマッピング付き)、例えば有機物の同定やポリマーの材質特定や劣化分析に使用する。

有機物・無機物・カーボンの構造分析に適し(1μmまでの空間分解能)、例えばカーボンの結晶構造や酸化チタンの構造分析、微小異物分析に使用する。

加熱ヘリウムによる直接イオン化により、高分子などの固体や液体試料から添加剤などを溶媒抽出することなく直接質量分析が可能となる。

飛行時間型検出器の質量分析により、高感度でかつ高精度の質量分析が可能で、質量数から構造解析も可能となり、微量な不純物や付着物などの構造決定に利用できる。

溶液・ガス中の成分定性・定量と熱付加時の発生ガス分析に適し(％〜ppmレベル)、例えば各種材料中の揮発性有機物分析やプラスチックの加熱発生ガス組成分析に使用する。

溶液・ガス中の成分定性・定量に適し(％〜ppmレベル)、例えば都市ガスなどの各種燃料組成分析や付臭剤定量に使用する。

有機物の分子量分析に適し、例えばポリマーの分子量分析や排水中の高分子の分子量分析に使用する。

溶液中の有機物成分の定性・定量分析に適し(％〜ppmレベル)、例えばポリマー中の添加剤成分分析や冷却水中のインヒビターの定性・定量分析に使用する。

溶液中の無機イオン成分分析に適し(100ppbあるいは10ppbレベルまで)、給湯水中の腐食成分や排水中のイオン成分定量に使用する。

溶液中の無機、金属成分をサブppmレベルで定量するのに適し、排水中の無機分定量や金属材料組成分析に使用する。

溶液中の重金属有害成分をサブppmレベルで定量するのに適し、例えば土壌中の重金属分析に使用する。

試料加熱時の熱重量変化の測定に適し(〜1300℃)、例えば有機物の熱分解開始温度や燃焼特性、ゴムの組成分析に使用する。

試料加熱時の微小熱変化測定に適し(吸熱、発熱：-100〜500℃)、例えばポリマーの熱物性(融解、ガラス転移、結晶化)測定や耐酸化性測定に使用する。

金属材料、無機材料、樹脂材料等の強度、硬さなどの評価に使用する。