微細な構造体デバイスを作りたい

得意技術領域TECHNOLOGY

微細な構造体デバイスを作りたい

KRIでは様々な2次元微細加工技術、3次元微細加工技術とそれを駆使したMEMSデバイスやマイクロシステムの研究をおこなっております。
例えば下記の様なご要望にお応えできます。

①目的に合った微細加工技術を選定したい
②MEMSデバイスを試作・評価したい
③コンビナトリアル成膜をおこないたい
④微細なデバイスの構成に必要な材料を開発したい
⑤マイクロ流体システム（マイクロリアクター、バイオチップ）を試作・評価したい
⑥基板上にナノ粒子を任意に配列させたい

※一般的な技術から特殊な技術まで上記以外にも広く知見を持っておりますので、お気軽にお問い合わせください

受託実績一例

MEMSデバイスの試作加工
触覚センサの開発研究
薄膜磁石（Nd、FePt）の成膜加工
圧電型振動発電の開発研究
薄膜磁石（FePt）のパターニング加工
磁石を用いた電磁振動発電の開発研究
磁石紛体への金属成膜加工
超磁歪素子を用いた振動発電の開発研究
金電極のナノ配線加工
○○を振動源とする振動発電デバイスの研究
各種金属の成膜・エッチング加工
○○用途バイオチップの開発研究
Si基板の高アスペクト加工
マイクロリアクターによる単分散粒子合成
Si基板の結晶異方性エッチング加工
マイクロリアクターによるカプセル合成
P-Siの成膜加工
マイクロポンプの開発研究
アモルファスSiの成膜加工
マイクロ流体システムの開発研究
透明電極の成膜加工
圧電材料の成膜加工
水晶基板のエッチング加工
PLA（ポリ乳酸）の成膜加工
レーザー加工・レーザーリフトオフ加工
カーボナノチューブの成膜加工
カーボナノチューブのメッキ（電析）加工
薄膜ダイアフラムの試作加工
光造形加工
TiO₂、ZnOコンビナトリアル成膜加工
Auナノ粒子の基板上任意配列
使い捨てコンタクトレンズの作成

KRIからのご提案

公開状態	詳細	得意技術領域	研究組織
会員限定	筋肉の1000倍の力を発揮するアクチュエータ材料～形状記憶合金の原理から応用まで～	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
会員限定	磁気の力で実現するスマート＆エコな熱輸送技術	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
会員限定	次世代通信に求められるオンデマンド電磁波制御技術	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
会員限定	隠れた課題を明確に、得られた知見を創造に（マテリアルファブリケーション研究室の紹介）	機能性材料電子デバイス分析・計測・データ解析材料トラブル解析	スマートマテリアル研究センター
公開	次世代通信（Beyond 5G）用材料・デバイス開発包括支援体制を確立	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	デバイス試作評価ワンストップサービス	機能性材料電子デバイス分析・計測・データ解析	スマートマテリアル研究センター
公開	スマートマテリアル研究センター紹介	機能性材料電子デバイス二次電池技術企画・調査	スマートマテリアル研究センター
公開	手のひらサイズのマイクロリアクター装置でサイズのそろったポリマー粒子を製造する技術を開発	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
会員限定	フロー連続合成プロセスの開発	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	ウイズコロナ時代に求められる新しいタッチレスパネルデバイスの提案	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	MEMS技術による超微細構造体の実現	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
会員限定	ポリマービーズ・マイクロカプセルのフロー連続合成	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
会員限定	ナノグラムの質量変化がフロー中で測れる超精密天秤”QCM”	電子デバイス環境・バイオ	スマートマテリアル研究センター
会員限定	昆虫ナノ構造のバイオミメティックに基づく物理的破壊を原理とした新しい殺菌材料の開発	機能性材料電子デバイス環境・バイオ	スマートマテリアル研究センター
公開	バイオミメティクス応用による体毛型センサー	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	新規なフレキシブルデバイスとセンシング技術	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	インクジェットプリンティングの応用技術	機能性材料電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	セルロース誘導可撓性透明フィルム	機能性材料電子デバイス環境・バイオ	スマートマテリアル研究センター
公開	昆虫ナノ構造のバイオミメティックに基づく物理的破壊を原理とした新しい殺菌材料の開発	機能性材料電子デバイス環境・バイオ	スマートマテリアル研究センター
公開	形状記憶合金（SMA）薄膜マイクロアクチュエータの応用	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	特殊加工技術	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	粘弾性を有する新規磁性デバイスの開発	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	センシングデバイス用途向けの金属ナノ粒子の任意配列研究	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター
公開	MEMSから生まれた微細加工技術	電子デバイス	スマートマテリアル研究センター